型號：

VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機

描述：產(chǎn)品簡介：VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝

廠商性質(zhì)
經(jīng)銷商
更新時間
2024-03-07
訪問量
310

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介： VTC-200P 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。 VTC-200P 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機腔體不可抽真空，工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上，該設(shè)備可儲存 12 組程序，每組程序包含 6 個運行階段。不同運行階段設(shè)備轉(zhuǎn) 數(shù)不同，使設(shè)備緩慢提升速度限速度，有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜，且不會過多浪費，節(jié)約材料。腔室的上蓋可以對樣品進(jìn)行加熱（可選功能），有利于粘稠度大的薄膜材料的涂覆過程的進(jìn)行。 VTC-200P 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機具有操作簡單、清理方便，體積小巧等優(yōu)點，主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實驗室中進(jìn)行薄膜的生成過程。

產(chǎn)品名稱

VTC-200P 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機

產(chǎn)品型號

VTC-200P

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下，溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：設(shè)備配有進(jìn)出水口

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：不需要

4、工作臺：尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點

6 個運行階段，每段增減速率設(shè)置范圍：100—2000rpm/s,每段

1 、設(shè)有 12 組程序，每組包含

時間范圍： 0—60s。

	2、真空吸附方式固定樣件，操作簡便。 3、吸盤真空度可以達(dá)到-0.08MPa。
	4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片。 5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單。 6 、電機采用 24V 直流無刷電機，無級調(diào)速，可靠性高，適應(yīng)性強，維修與保養(yǎng)簡單，噪音低，震動小，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，啟動快速穩(wěn)定，加速后運行平穩(wěn)，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 7、本機可置于手套箱內(nèi)使用，但控制部分與真空泵需置于箱外。 8 、可在惰性氣體氣氛（如 Ar 、N2 ）下進(jìn)行涂層。
	9、采用無油雙杠真空泵，體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點。 10、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能。 11、全英文操作系統(tǒng)。 12、具有開蓋保護(hù)功能，當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止 13、控制器采用單控制箱，液晶顯示數(shù)值，更直觀可靠。
技術(shù)參數(shù)	1、電源： 220V 50HZ 2、電機功率： 350W/24V 3、轉(zhuǎn)速： 500rpm-6000rpm 之間可調(diào) 4.可儲存 12 組程序，每組程序包含 6 個運行階段， 5、每段增減速率設(shè)置范圍： 100 rpm s—2000 rpm /s，每段時間范圍： 0-60s 6、吸盤規(guī)格φ 100mm 7、本機可選配加熱功能：加溫范圍 RT-99%

	加熱蓋，水槽及吸盤采用聚丙烯材質(zhì) 溫度單獨控制，與主機程序控制無關(guān)聯(lián)
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：φ250mm×360mm；重量： 20kg
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	φ100mm 真空吸盤	1 個
	2	O 型膠圈	1 個
	3	滴液器	1 個
	4	滴液器支架	1 個
		中心定位器
	5		1 個
	6	無油真空泵	1 臺
可選配件	進(jìn)口移液器